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| 用途 | 用于憃膜材料及离子注人掺杂。圂微电子工业上用于化学气体沉积,以制作低电阻、高熔点的互连线 |
| 型号 | 信康牌 |
| 包装规格 | 25kg/桶 |
| 外观 | 有吸湿性的白色粉末 |
| CAS编号 | 7783-63-3 |
| 别名 | 头孢呋辛酸;四氟化钛;氟化钛(IV);氟化钛(IV) |
| 纯度 | 98% |
| 重金属 | 1ppm |
中文名称:四氟化钛
中文别名:氟化钛(IV)
CAS No:7783-63-3
EINECS号:232-017-6
分子式:F4Ti
沸点:284oC
密度:2.798
外观白色粉末
用途:用于成膜材料及离子注人掺杂。在微电子工业上用于化学气体沉积,以制作低电阻、高熔点的互连线。
安全说明:S26;S36/37/39;S45
危险品运输编号:UN 3260
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